描述:TEM過濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)?通用和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。?用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,包括基板退火。的清潔干燥空氣,包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。
品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一個(gè)月以上 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,航天,電氣,綜合 |
TEM過濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)
GasPro™ TEM-100高流量ePTFE串聯(lián)濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)
GasPro™ TEM-100系列濾波器設(shè)計(jì)用于3 nm顆粒截留率高達(dá)300 scfm,且溫度高達(dá)80?C(176F)。ePTFE膜(2.04 m2/22.0平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在316L不銹鋼外殼,具有的流動(dòng)性和耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton o形圈(其他o形圈材料可在重新測(cè)試時(shí)獲得)。
TEM-100系列應(yīng)用
•通用和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。
•用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,包括基板退火。
•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣,包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。
TEM-100系列規(guī)格
•過濾等級(jí)我們的多孔ePTFE過濾器可提供有效的3 nm顆粒保留。
•高工作溫度*80°C(176°F)。
建議更換:在69ºC(156ºF)以上運(yùn)行6個(gè)月。
•大工作壓力20°C(68°F)時(shí)為17.2 bar(250 psig)。
•大正向流量壓差20ºC(68ºF):6.0bar(87 psi)80ºC(176ºF):4.0bar(58 psi)
TEM-100系列功能和優(yōu)點(diǎn)
•電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內(nèi)表面上積聚。
•包裝外清潔度我們的GasPro™ 清潔TEM-100過濾器,并包裝在無塵室內(nèi),不含有機(jī)物包裝外、無顆粒和無化學(xué)品清潔度。終組裝已清除使用過濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。
•多種配件選項(xiàng),便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封,壓縮、對(duì)焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據(jù)要求提供。
•氦泄漏測(cè)試所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進(jìn)行測(cè)試。
零件號(hào)入口/出口配件過濾介質(zhì)/外殼其他材料長度(L)
TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口
PTFE/316L不銹鋼
鋼TEM過濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)
聚丙烯
氟橡膠®密封*899.9毫米(35.43英寸)
TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0”)
TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25”)
TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm(35.0”)