描述:?GasPro™TEM-100在線高流量ePTFE濾器零件號、入口/出口配件、過濾介質(zhì)/外殼、其他材料、長度(L)TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯氟橡膠®密封件*899.9毫米(35.43英寸)TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0")TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(
品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一個月以上 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,能源,電子,電氣,綜合 |
GasPro™TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24
GasPro™TEM-100系列濾光片的設(shè)計波長為3 nm顆粒截留率高達(dá)300 scfm,以及溫度敢達(dá)80oC(176oF)。ePTFE膜(2.04m2/22.0平方英尺)帶著
聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在不銹鋼316L外殼,具有的流動性和穩(wěn)定性耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton®o形圈(其他o形圈材料可在重新測試時獲得)。
應(yīng)用
•一般和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。
•用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,包括襯底退火。
•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣,包括:前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和安裝光刻。
規(guī)格
•過濾等級我們的多孔ePTFE濾光片可提供有效的3納米濾光片顆粒保留。
•高工作溫度*80攝氏度(176華氏度)。
建議更換:在69oC(156oF)以上運(yùn)行6個月。
•大工作壓力在20°C(68°F)條件下為17.2bar(250 psig)。
•大正向流量壓差
20oC(68oF):6.0bar(87磅/平方英寸)
80oC(176oF):4.0bar磅/平方英寸)
GasPro™TEM-100系列GasPro™TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24
•電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和腐蝕粒子在內(nèi)表面上堆積。
•包裝外清潔度我們的加斯普羅™ 清潔TEM-100過濾器,并在無塵室內(nèi)包裝,不含有機(jī)成分處理包裝外、無顆粒和無化學(xué)品清潔度。終組件被清除用過濾氮氣進(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。
•多種配件選項,便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據(jù)要求提供。
•氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/秒的速度進(jìn)行測試。
零件號、入口/出口配件、過濾介質(zhì)/外殼、其他材料、長度(L)
TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口
PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯
氟橡膠®密封件*899.9毫米(35.43英寸)
TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0")
TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25")
TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm(35.0")